Expérience

L'application du plasma O2



Protocole expérimental et matériels

Les échantillons de Poly(ethylène terephthalate glycol) (PETG) ont une épaisseur de 2 mm. Les échantillons ont été coupés dans les dimensions 1x1 cm et nettoyés à l’aide d’un ultra sonicateur avec de l’éthanol pendant 15 min puis rincés avec de l’eau distillée. Ensuite, les échantillons nettoyés et séchés sont irradiés par l’application du plasma oxygéné produit dans le mode gravure de la machine BSET EQ NT-1 (Digit Concept Microelectronics and High Tech Equipment, France) à la fréquence d’excitation de 13.56 MHz (voir Figure (3.1) ). Les échantillons sont placés sur l’électrode de puissance parallèle à l’electrode de masse distante de 50 mm entre elles. Une pompe avec un débit de 20 m3/h se charge de l’évacuation du système, et la pression de base est maintenue à 100 mTorr. L’oxygène gazeux est alimenté dans la chambre à un taux de 20 sccm. Chaque échantillon est irradié pendant 5 minutes.


échantillons non-traités de PETG



Dispositif à plasma BSET EQ-NT1



On règle les paramètres vu précédemment sur le dispositif à plasma BSET on obtient ce résultat après 5 minutes.


Production de plasma dans la cavité du dispositif à plasma