La pompe à palette est couramment employée pour réaliser un vide primaire. La figure 2 nous aide à comprendre son fonctionnement. La rotation du système à palettes dans une enceinte cylindrique déplace le gaz. Ce dernier pénètre d'abord dans une chambre qui se dilate. La rotation entraîne successivement l'isolement de ce volume et ensuite sa compression vers la sortie. Les gaz s'échappent par une soupape noyée dans l'huile.
Ce type de pompe permet d'atteindre une pression de 10 -1 à 10 -2 Torr. On pourrait imaginer qu'il est possible de repousser cette valeur limite en disposant plusieurs pompes à palettes en cascade l'une après l'autre. En fait, on n'améliore pas grand-chose en procédant ainsi, car l'huile nécessaire au fonctionnement s'évapore et limite le vide à environ 10 -3 Torr. On dit que la tension de vapeur de cette huile vaut 10 -3 Torr.