LES PRINCIPAUX ELEMENTS DU MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE

 Le MEB est composé :
           
1.) D’un système de vide:  A cause du pouvoir d'interaction avec la matière, les électrons ne se propagent librement que dans le vide. Le Socle permet en effet de réaliser un vide de 10^(-5) à 10^(-6) torr. Il est donc nécessaire, pour obtenir une image significative, que la colonne soit pompée par celui-ci sous des vides de l'ordre du milliardième de la pression atmosphérique.

2.) La Colonne et la chambre : On trouve de haut en bas : le canon, l'ensemble des lentilles, le porte objet, et les divers détecteurs (adaptés aux différents besoins d'observation).

-Le canon à électrons produit un faisceau d'électrons par effet thermoélectrique à partir d’un filament de tungstène porté à haute température. Le filament de tungstène est souvent remplacé  par une pointe taillée dans un monocristal de LaB6 qui possède un meilleur rendement thermoélectronique.

Dans les instruments les plus récents, les électrons sont émis par effet de champ : on utilise une pointe métallique très aiguë, dont l'extrémité ne comporte qu'un ou quelques atomes. Le champ électrique local, extrêmement intense, est suffisant pour extraire les électrons avec un fort rendement (brillance) à partir d'une surface très faible (ponctualité de la source), permettant un gain considérable sur les performances de l'instrument.

-Les lentilles                
*Les 2 premiers condenseurs (souvent couplés) sont destinés à la mise en forme du
  Faisceau. Ils réduisent le diamètre de la source d’électrons (« cross over » du canon)
          
*La lentille objectif (ou 3ème condenseur) focalise la sonde sur l’objet.

-Les détecteurs: Système scintillateur-photomultiplicateur, qui détecte les électrons et permet de visualiser les images. Le MEB du CCMA est composé de trois détecteurs:

i) Le détecteur d'électrons secondaires (LEI), situé dans la chambre du microscope.
ii) Le détecteur d'électrons rétrodiffusés (YAG), lui aussi situé dans la chambre du microscope.
iii) Un détecteur pouvant sélectionner les 2 types d'électrons (SEI), situé dans la colonne du microscope.


Les électrons rétrodiffusés/secondaires