NOTIONS A SAVOIR

Les électrons rétrodiffusés (back-scattered electrons) résultent de l’interaction des électrons du faisceau avec des noyaux d’atomes de l’échantillon, réagissant de façon quasi élastique . Ces électrons sont réémis dans une direction proche de leur direction d’origine avec une faible perte d’énergie.
Les électrons rétrodiffusés sont caractérisés à la sortie de l'échantillon par : une énergie cinétique élevée, et une bonne sensibilité à la composition chimique locale.    

Les électrons secondaires   Lors d’un choc entre les électrons primaires du faisceau et les atomes de l’échantillon, un électron primaire peut céder une partie de son énergie à un électron peu lié de la bande de conduction de l’atome, provoquant ainsi une ionisation par éjection de ce dernier. On appelle électron secondaire cet électron éjecté. Chaque électron primaire peut créer un ou plusieurs électrons secondaires.

Les électrons secondaires sont caractérisés à la sortie de l'échantillon par : une zone d'émission peu supérieure à la zone d'impact primaire, une faible énergie cinétique, et une information topographique de l'échantillon.

On appelle distance de travail, la distance entre l'échantillon et la lentille objectif.

-Pour augmenter la profondeur de champ, il faut diminuer alpha, donc augmenter la distance de travail.

-Pour augmenter la résolution, il faut augmenter alpha,donc diminuer la distance de travail.

R = (0.61*lambda)/(2n sin(alpha))
En effet, avec la formule de la résolution ci-dessus, on voit bien qu’en diminuant alpha, on obtient une meilleure résolution.