Cellules d'effusion : Appelle aussi cellules de Knuden, elles permettent de chauffer des métaux entre 500 et 800 dégrées pour les vaporiser. Elles contrôlent également la croissance en hétéro-épitaxie par jets moléculaires en maitrisant les jets avec un système d'obturateurs.
 
Cellules photovoltaïques : Une cellule photovoltaïque est un composant électronique qui, exposé à la lumière (photons), génère une tension électrique (volt) (cet effet est appelé l'effet photovoltaïque). Le courant obtenu est un courant continu et la tension obtenue est de l'ordre de 0,5 V. Les cellules photovoltaïques sont constituées de semi-conducteurs à base de silicium (Si), de sulfure de cadmium (CdS) ou de tellurure de cadmium (CdTe). Elles se présentent sous la forme de deux fines plaques en contact étroit. Un autre nom est " photo-galvanique ". Ce semi-conducteur est pris entre deux électrodes métalliques, le tout protégé par une vitre.
 
Chambre ultravide : Une chambre ultravide est une chambre qui a une pression de 10^-9 a 10^-12 torr.
 
Chimie-absorbées : Atomes ou molécules absorbées par réactions chimiques sur le substrat.
 
Emissivité : paramètres qui compare l'émission d'un objet réel (notre échantillon) à celle du corps noir, placé dans les mêmes conditions et à la même température.
 
Ionisation : L'ionisation est l'action qui consiste à enlever ou ajouter des charges à un atome ou une molécule.
 
Jets moléculaires : C'est un jet de particules Controller par des cellules de Knuden.
 
Nucléation : Phénomène suivant lequel apparaissent les premiers germes cristallins ou nuclei (groupe d'atomes ou d'ions présentant une structure ordonnée correspondant à la maille cristalline) ;
 
Phase vapeur : Méthode de fabrication a haute températures.
 
Physi-absorbées : Atomes ou molécules absorbées par contraintes physique (réseau cristallin, interaction faible).
 
Pompe ionique : Pompe qui a partir qui a partir de 10^-5 torr permet de capturer les poussières restante et de créer un vide plus important qu'une pompe turbo en ionisant l'air.
 
Pompe turbo : Pompe qui permet de créer un vide de l'ordre de 10^-5 torr.Elle fonctionne comme un réacteur d'avion (turbine).
 
Processeurs : Le processeur, (ou CPU, Central Processing Unit, « Unité centrale de traitement » en français) est le composant essentiel d'un ordinateur qui interprète les instructions et traite les données d'un programme.
 
Processus de surfaces : Phénomènes qui vont permettent l'absorbation des atomes ou des molécules par le substrat.
 
Réseau cristallin : Structure nanométrique d'un matériau, le réseau cristallin donne le paramètre de maille (espaces entres les atomes), le rangement de ces atomes (tétraédrique, carre etc.….), ainsi que les contraintes a la chaleur.
 
Théorie de la cinétique des gaz : La théorie cinétique des gaz est une théorie par laquelle on cherche à expliquer le comportement macroscopique d'un gaz à partir des caractéristiques des mouvements des différents caractères  qui le composent. Elle permet notamment de donner une interprétation microscopique aux notions de température et pression.
 
Torr : Le torr ou millimètre de mercure (mm Hg) est une unité de mesure de la pression initialement définie comme la pression exercée à 0°C par une colonne de 1 millimètre de mercure (mm Hg). Elle a plus tard été indexée sur la pression atmosphérique : 1 atmosphère normale correspond à 760 mm Hg et a 101 325 pascals. On en déduit donc que le torr est équivalent à environ 133,322 368 Pa.
Une directive européenne de 1984 la définit directement en terme de pascals : 1 mm Hg = 133,322 Pa.
 
Thermocouple : En physique, les thermocouples sont utilisés pour la mesure de températures. Ils sont bon marché et permettent la mesure dans une grande gamme de températures. Leur principal défaut est leur précision : il est relativement difficile d'obtenir des mesures avec une erreur inférieure à 0,1-0,2 °C. La mesure de température par des thermocouples est basée sur l'effet Seebeck.
 
Transistors : C'est un composant électronique semi-conducteur, utilisé à la fois comme amplificateur et comme interrupteur. Il a remplacé les tubes électroniques et est à l'origine du développement des circuits intégrés.
 
Transistors bipolaires à hétérojonction : Ils fonctionnent avec des hautes fréquences avec des tensions généralement de 5 V.
 
Transistors à haute mobilités d'électrons : Un transistor à haute mobilités d'électrons, appelle aussi transistor à effet de champ à hétéro structure, est un type de transistors à effet de champ (FET pour Field Effect Transistor). Il s'agit d'un dispositif semi-conducteur de la famille des transistors. Sa particularité est d'utiliser un champ électrique pour contrôler la forme et donc la conductivité d'un " canal " dans un matériau semi-conducteur. Il concurrence le transistor bipolaire sur de nombreux domaines d'applications, tels que l'électronique numérique.