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De plus les parois sont refroidies à l'azote liquide afin de
fixer les dernières impuretés volatiles. Le substrat est chauffé grâce au
rayonnement du four qui est placé dans le manipulateur. Ce rayonnement est
efficacement transmis à l'échantillon car la face dépolie permet d'éviter
la réflexion du rayonnement du four. Le chauffage est donc plus efficace avec
une face dépolie.
Nous pouvons donc commencer l'épitaxie. Les espèces
chimiques sont envoyées par les cellules d'effusion et par un injecteur.
D'abord, grâce à un injecteur, nous envoyons de l'ammoniac (NH3) dans la
chambre, donc sur le saphir à 930 °C. En envoyant du NH3 sur du saphir, nous "
nitrurons " le saphir (Al2O3), c'est-à-dire que nous apportons des atomes
d'azote au saphir. Le fait de nitrurer le saphir permet au gallium que nous
allons injecter après de mieux accrocher.
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Une
cellule d'effusion vaporise du gallium (Ga).
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